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Brevet : Synthèse par pyrolyse laser de nanocristaux de silicium
N. Herlin-Boime , O. Sublemontier et F. Lacour logo_tutelle logo_tutelle 

Schéma d'un dispositif de mise en oeuvre du procédé de pyrolyse

Numéro d'identification : WO/2008/152272 (Lien OMPI et fichier PDF associé)
Numéro d'identification CEA BD 1791
Année de dépôt : 18-05--2007
Date de publication : 18-12-2008

Synthèse par pyrolyse laser de nanocristaux de silicium

L'invention concerne la synthèse par pyrolyse laser de nanoparticules comportant du silicium. A cet effet : - on achemine, par un fluide de transport(He), un précurseur (SiH4) comportant le silicium, vers un réacteur de pyrolyse(REAC), - on applique, dans le réacteur, un rayonnement laser (LAS) de puissance contrôlée au mélange formé du fluide de transport et du précurseur, et - on récupère en sortie du réacteur des nanoparticules (nP) comportant du silicium. La durée d'impulsion laser effective est contrôlée par rapport à la période de tir laser. Typiquement, pour une puissance supérieure à 500 watts et une durée d'impulsion supérieure à 40% de la période de tir laser, on obtient des nanoparticules présentant un coeur sous forme cristalline de taille inférieure ou de l'ordre du nanomètre. La cadence peut être supérieure ou de l'ordre de 80 milligrammes par heure. Dans des conditions optimisées, une cadence record de supérieure à 740 milligrammes par heure a pu être obtenue.

 


Synthesis of silicon nanocrystals by laser pyrolysis
(WIPO link)

 

 The invention relates to the synthesis of silicon-containing nanoparticles by laser pyrolysis. For this purpose: a precursor (SiH4) containing the element silicon is conveyed, by a transuport fluid (He), into a pyrolysis reactor(REAC); laser radiation (LAS) is applied, in the reactor, to a mixture that the transuport fluid and the precursor form; and silicon-containing nanoparticles (nP) are recovered at the exit of the reactor. In particular, the power of the laser radiation is controlled. Furthermore, the effective pulse duration is controlled within a laser firing period. Typically, for a power greater than 500 watts and a pulse duration greater than 40% of a laser firing period, nanoparticles having a crystalline structure with a size of less than or of the order of one nanometre are obtained at a rate greater than or of the order of 80 milligrams per hour. Under optimum conditions, a record rate of greater than 740 milligrams per hour was able to be obtained

Contact: N. Herlin-Boime

 

Maj : 18/03/2010 (1367)

 

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